OTF-1200X-RTP-II-5-R 5英寸旋转蒸发镀膜炉,其炉腔体是一直径为11英寸的石英管。此款设备专门设计针对于热蒸发或CSS(Close Spaced Sublimation)镀膜实验,其镀膜面积可达到5“x5“,并且顶部载样台可旋转,提高镀膜均匀性。此款高温炉的加热元件是两组红外灯管(分别位于顶部和底部),大升温速率为10ºC/s 。对于探索新一代的薄膜太阳能电池,
GSL-1700X-EV4 程序控温型四坩埚蒸发镀膜仪是一款小型温控型蒸发镀膜仪,内部设有4个蒸发坩埚,且每个蒸发坩埚都带有挡板,多可放置4种不同的蒸发物料,可在同一气氛下依次镀膜,实现多层膜的沉积工艺。可程序控温,控温范围200-1500℃(选用B型热电偶:1200℃-1700℃),大可蒸镀直径2英寸薄膜样品,样品台可旋转以获得更均匀的薄膜,可制备各种金属薄膜和有机物薄膜。
VTC-600-2HD双靶磁控溅射仪是一款带有两个靶头的磁控溅射镀膜仪,其中一个靶头采用直流(DC)溅射,可溅射金属靶材制备金属膜,另一个采用射频(RF)溅射,可溅射金属和氧化物靶材,制备金属或氧化物膜.设备上安装有薄膜测厚仪可以实时监测薄膜的厚度。此设备可制作各种单层或多层薄膜,如铁电、导电,合金,半导体,陶瓷,介电,光学,氧化物和PTFE薄膜等。而且设备体积较小操作方便,是一套理想的实验工具。
GSL-1100X-SPC-16-3等离子三靶溅射仪是依据二极(DC)直流溅射原理设计而成的最-简单、可靠、经济的镀膜设备。本机特别之处是在一个真空室内安装了三个靶,旋转样品台可依次在同一样品上涂覆三种材料。因此,适用于实验室各种复合膜样品的制备,以及非导体材料实验电极的制作。
GSL-1100X-SPC-16M磁控溅射镀膜仪是依据二极(DC)直流溅射原理设计而成的最-简单、可靠、经济的镀膜设备,适用于实验室各种复合膜样品的制备,以及非导体材料实验电极的制作。