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GSL-1100X-SPC-16-3等离子三靶溅射仪是依据二极（DC）直流溅射原理设计而成的最-简单、可靠、
经济的镀膜设备。本机特别之处是在一个真空室内安装了三个靶，旋转样品台可依次在同一样品上涂覆三种材料。
因此，适用于实验室各种复合膜样品的制备，以及非导体材料实验电极的制作。
| 功能特点 |
|---|
设有真空表、溅射电流表，可实时监控工作状态。
通过调节溅射电流控制器、微型真空气阀，控制真空室压强、电离电流及选择所需要的电离气体，
以获得最佳镀膜效果。
钟罩边缘橡胶密封圈采用特殊设计，可保证长期使用不出现玻璃钟罩崩边现象。
陶瓷密封高压电极接头比通常采用的橡胶密封更经久耐用。
根据电场中气体电离特性，采用大容量溅射真空室和相应面积溅射靶，使溅射镀层更均匀纯净。
已通过CE认证。
| 技术参数 | |||
|---|---|---|---|
| 安装条件 | 本设备要求在海拔1000m以下，温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用。 | ||
| 水 | 不需要 | ||
| 电 | AC220V 50Hz，必须有良好接地 | ||
| 气 | 设备腔室内需充注氩气（纯度99.99%以上），需自备氩气气瓶（带减压阀） | ||
| 工作台 | 尺寸600mm×600mm×700mm，承重50kg以上 | ||
| 通风装置 | 不需要 | ||
| 靶 | Ø45mm | ||
| 真空室 | Ø160mm×120mm | ||
| 最高真空度 | ≤4×10-2mbar | ||
| 靶位 | 3个 | ||
| 最大电流 | 50mA | ||
| 可设定最长时间 | 900s | ||
| 微型真空气阀 | 连接Ø3mm软管 | ||
| 最高电压 | 1600V DC | ||
| 机械泵 | 2L/s | ||
| 可选配件 | 金、铟、银、铂等各种靶材 | ||
| 标准配件 | 1 | 金靶材 | 1个 |
| 2 | 银靶材 | 1个 | |
| 3 | 铝靶材 | 1个 | |
| 4 | 进气针阀 | 1个 | |
| 5 | 保险丝 | 2个 | |
GSL-1100X-SPC-16-3等离子三靶溅射仪
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