OTF-1200X-RTP-II-5-R 5英寸旋转蒸发镀膜炉

简要描述：OTF-1200X-RTP-II-5-R 5英寸旋转蒸发镀膜炉，其炉腔体是一直径为11英寸的石英管。此款设备专门设计针对于热蒸发或CSS（Close Spaced Sublimation）镀膜实验，其镀膜面积可达到5“x5“，并且顶部载样台可旋转，提高镀膜均匀性。此款高温炉的加热元件是两组红外灯管（分别位于顶部和底部），大升温速率为10ºC/s 。对于探索新一代的薄膜太阳能电池，

产品型号：

所属分类：蒸发镀膜设备

更新时间：2022-10-28

厂商性质：生产厂家

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详情介绍

OTF-1200X-RTP-II-5-R 5英寸近距离旋转蒸发镀膜炉

是一款5英寸近距离旋转蒸发镀膜炉，其炉腔体是一直径为11英寸的石英管。

此款设备专门设计针对于热蒸发或CSS（Close Spaced Sublimation）镀膜实验，其载样台尺寸5"x5"，

并且顶部载样台可旋转，提高镀膜均匀性。此款高温炉的加热元件是两组红外灯管（分别位于顶部和底部），

最大升温速率为10ºC/s 。对于探索新一代的薄膜太阳能电池，如CdTe、硫化物和钙钛矿结构太阳能电池,

这是一款理想的实验工具。

性能指标和基本配置
产品特点	● 由两组红外灯管作为加热元件，分别位于顶部和底部，两温度控制器进行独立控温 ● 最大升温速率为10℃/s ● 最高温度可达800℃ ● 两样品台距离以及旋转均可通过触摸屏控制 ● 顶部载样台可旋转
工作电压	AC 220V, 50/60Hz （需要50A的空气开关）
真空法兰	● 空法兰为316不锈钢制作 ● 顶部法兰（可通过控制盒进行上升和下降）：机械压力表 KF16接口，可以安装防腐真空计两个不锈钢精密针阀用于气体的进出 ● 底部法兰： KF25接口，可以与真空泵相连接法兰是通过两个硅胶O型圈进行密封：真空度：20Pa（机械泵）真空度：10-1Pa（分子泵）
加热元件和载样台	● 由两组红外灯管作为加热元件，分别位于顶部和底部 ● 两个加热台之间的距离可以通过直流电机调节（触摸屏控制） ● 顶部载样台转速可调（触摸屏控制） ● 为了减少热量辐射和达到较快的冷却速率，加热元件安装在带有水冷夹层的不锈钢壳体中，（不锈钢壳体采用316不锈钢制作） ● 采用导热率较高的氮化铝陶瓷片（5"×5"×0.5mm厚度）作为载样台，以达到较好的加热均匀性 ● 注：可选购5"x5"的石墨坩埚放于底部载样台用来盛放蒸发原料，提高温度均匀性
温控系统	● 两个精密的温控系统分别独立控制上下两个加热区，可设置30段升降温程序 ● 每个温控系统都带有超温和断偶保护 ● PC通讯接口，软件可安装，可将控温程序和温度曲线导入到电脑中
工作温度	● 最高工作温度为：800℃ ● 两个加热区之间的最大温差为300℃
加热和冷却速率	● 建议加热速率≤ 10ºC/s（每个温区单独加热） ● 冷却速率> 10ºC/s (800 - 300ºC)
热电偶	两个K型热电偶，安装在顶部和底部，都与氮化铝陶瓷片相接触
可选	● 此款仪器使用时需要配用一循环水冷机（58L/min) ● 实验时需要一个真空泵，可与本公司选购真空泵 ● 若要使真空腔体内达到更洁净的工作环境，可换购无油泵 ● 可选购质子流量计混气系统，将实验所需气体安比列混好后导入到真空腔体中
产品尺寸	790mm × 600mm × 1100mm
应用注意事项	● 炉管内气压不可高于0.02MPa。 ● 由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全。 ● 对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等）。
保修期	一年保修，终身技术支持。特别提示： 1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。 2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。点击查看售后服务承诺书。