在研磨抛光过程中，用氧化铬作磨料的研磨剂涂在研具的工作表面，由于磨料比研具和工件软，因此研磨过程中磨料悬浮于工件与研具之间，主要是利用研磨剂与工件表面的化学作用，产生很软的一层氧化膜，凸点处的薄膜很容易被磨料磨去，此种方法能得到极细的表面粗糙度。
研磨方法： 研磨抛光机 研磨平面一般在精磨之后进行，手工研磨平面时，研磨剂涂在研磨平板上，手持工件作直线往复运动或“8字形运动，研磨一定时间后，将工件调转90°～180°，以防工件倾斜。
对于工件上局部待研的小平面、方孔、窄缝等表面，也可手持研具进行研磨，批量较大的简单零件上的平面也可研磨。
可加工各种钢、淬硬钢、铸铁、铜铝及其合金、硬质合金、陶瓷、玻璃及某些塑料制品等，工件与研具随机接触，高点相互修整，误差逐步减小，精度得到提高，可检测工件，有针对性变动研磨位置和掌握研磨时间，保证尺寸和形状精度，加工质量可靠。
研磨抛光机 研磨广泛用于单件小批量生产中加工各种高精度型面，并可用于大批大量生产，可对工件进行0.01～0.1μm切削，可获得很高的精度和很低的Ra值，但一般不能提高加工面与其他表面之间的位置精度。
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