详情介绍
VTC-100PA真空旋转涂膜机适用于半导体、晶体、光盘、制版等表面涂覆工艺。本机可用于强酸、强碱性涂覆溶液的涂膜制备。
功能特点 |
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- 真空吸附方式固定样件,操作简便。
- 使用定位工具可将样件很容易地放在中心位置,以减少偏心而造成的震动或飞片。
- 根据样件规格可以配用不同的吸盘,且更换方便简单。
- 设有12组程序,每组包含6个运行阶段。
- 电机启动快速稳定,可以保证涂层厚度的*性和均匀性。
- 真空度大可以达到-0.08MPa。
技术参数 | |||
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安装条件 | 本设备要求在海拔1000m以下,温度25℃±15℃,湿度55%Rh±10%Rh下使用。 | ||
水 | 设备配有进出水口 | ||
电 | AC220V 50Hz,必须有良好接地 | ||
气 | 不需要 | ||
工作台 | 尺寸600mm×600mm×700mm,承重50kg以上 | ||
通风装置 | 需要 | ||
电机功率 | 350W | ||
速度范围 | 500rpm-10000rpm | ||
程序运行 | 可储存12组程序,每组程序包含6个运行阶段 | ||
增减速率设置范围 | 100rpm/s-2000rpm/s | ||
时间范围 | 0-60s | ||
吸盘 | Ø19mm、Ø60mm | ||
本机可选配加热功能 | ● 加温范围RT-150℃; ● 加热盖,水槽及吸盘采用耐高温材质聚四氟; ● 温度单独控制,与主机程序控制无关联; | ||
尺寸 | 450mm×280mm×340mm | ||
重量 | 20kg | ||
可选配件 | 过滤器(真空泵用) | ||
标准配件 | 1 | 真空吸盘(含O型圈) | 2个 |
2 | 中心定位器(含4个定位柱) | 1个 | |
3 | 滴胶注射器(20ml) | 1个 | |
4 | 注射器支架 | 1个 | |
5 | 无油真空泵 | 1台 | |
6 | 橡胶管(含卡箍) | 1根 |
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