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VTC-200PV真空旋转涂膜机适用于半导体、晶体、光盘、制版等表面涂覆工艺。本机可用于强酸、强碱性涂覆溶液的涂膜制备。
| 安装条件 |
|---|
- 本设备要求在海拔1000m以下，温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用。
- 1、水：设备配有进出水口
- 2、电：AC220V 50Hz，必须有良好接地
- 3、气：不需要
- 4、工作台：尺寸600mm×600mm×700mm，承重50kg以上
- 5、通风装置：需要
| 技术参数 | ||
|---|---|---|
| 特点 | 1、设有12组程序，每组包含6个运行阶段。 2、真空吸附方式固定样件，操作简便。 3、真空度大可以达到-0.08MPa。 4、使用定位工具可将样件很容易地放在中心位置，以减少偏心而造成的震动或飞片。 5、根据样件规格可以配用不同的吸盘，且更换方便简单。 6、电机启动快速稳定，可以保证涂层厚度的*性和均匀性。 7、本机可置于手套箱内使用，但控制部分与真空泵需置于箱外。 8、可在惰性气体气氛下图层 9、可在真空状态下图层，在此状态下图层，需要粘接基片或夹持基片方可实现 | |
| 功率 | 350W | |
| 转速 | 500rpm-6000rpm | |
| 时间 | 1s-60s | |
| 腔体真空度 | 1Torr（VRD-16机械泵连续工作） | |
| 产品规格 | 尺寸：250mm×290mm；重量：25kg | |
| 标准配件 | 真空吸盘 | 1个 |
| 夹持吸盘 | 1个 | |
| 无油真空泵 | 1台 | |
| 可选配件 | VRD-16机械泵 | |
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