OTF-1200X-RTP-II 3英寸近距离蒸发镀膜仪炉
性能指标和基本配置 | |
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炉体结构&真空腔 | ● 两个独立的加热装置,两个独立控温装置及两路浮子流量计均被精巧的设计在一个可移动的铝合金框架上。 |
基本参数 | ● 石英腔体尺寸:11"O.D×10.8"I.D×9"H mm |
加热元件和载样台 | ● 由两组红外灯管作为加热元件可实现快速加热 |
真空法兰 | ● 真空法兰材质为316不锈钢制作 |
温控系统 | ● 两个数显式温控表都可设置30段控温程序 |
工作温度 | 每个加热器最高温度:≦600℃ |
热电偶 | 两个K型热电偶分别安装在上下法兰上 |
可选配件 | 水冷机 |
外形尺寸 | 850(L)×745(W)×1615(H) mm |
警告 | ● 石英管密封采用真空密封,管内可处于微正压但压力要小于0.02MPa。 ● 由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全。 ● 当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态。 ● 进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击 |
应用提示 | 相关文章: |
质量认证 | CE认证 |
保修期 | 一年保修,终身技术支持。 特别提示: 1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。 2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。 点击查看售后服务承诺书。 |
OTF-1200X-RTP-II 3英寸近距离蒸发镀膜仪炉
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