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1 英寸小型磁控射频溅射镀膜仪

1 英寸小型磁控射频溅射镀膜仪

简要描述:VTC-1RF是一款小型台式单靶等离子溅射仪(射频磁控型),配有1英寸的磁控等离子溅射头和射频(RF)等离子电源,此款设备主要用于制作非导电薄膜,特别是一些氧化物薄膜。对于新型非导电薄膜的探索,它是一款廉价并且高效的实验帮手。
VTC-1RF 1 英寸小型磁控射频溅射镀膜仪

产品型号: VTC-1RF

所属分类:等离子镀膜设备

更新时间:2022-10-28

厂商性质:生产厂家

详情介绍


VTC-1RF 1 英寸小型磁控射频溅射镀膜仪是一款小型台式单靶等离子溅射仪(射频磁控型),

配有1英寸的磁控等离子溅射头和射频(RF)等离子电源,此款设备主要用于制作非导电薄膜,

特别是一些氧化物薄膜。对于新型非导电薄膜的探索,它是一款廉价并且高效的实验帮手。

我们用此设备得到择优取向的ZnO薄膜

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性能指标和基本配置
输入电源● 220VAC 50/60Hz, 单相
● 800W (包括真空泵)
等离子源● 配有一13.5MHz,100W的射频电源(采用手动匹配)
● 可选配300W射频电源(自动匹配)
● 注意:100W手动调节的RF(射频)电源价格较低,但是每一次对于不同的靶材,都需要手动设置参数才能产生等离子体,比较耗费时间。300W自动匹配的RF(射频)电源,价格较昂贵,但比较节约时间。(点击图片查看详细资料)
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磁控溅射头● 一个1英寸磁控溅射头(带有水冷夹层),采用快速接头与真空腔体相连接
● 靶材尺寸: 直径为25.4mm,最大厚度3mm
● 一个快速挡板安装在法兰上
● 溅射头所需冷却水:流速10L/min(仪器中配有一台流速为16L/min的循环水冷机)
● 同时可选配2英寸溅射头
● 选配2英寸溅射头靶材尺寸:直径为50.8mm,最大厚度6mm
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真空腔体● 真空腔体:160 mm OD x 150 mm ID x 250mm H,采用高纯石英制作
● 密封法兰:直径为165 mm . 采用金属铝制作,采用硅胶密封圈密封
● 一个不锈钢网罩住整个石英腔体,以屏蔽等离子体
● 真空度:<1.0×10-2 Torr (采用双极旋片真空泵)

<5×10-5 torr (采涡旋分子泵)


载样台● 载样台可旋转(为了制膜更加均匀)并可加热
● 载样台尺寸:直径50mm (最大可放置2英寸的基片)
● 旋转速度:1 - 20 rpm
● 样品台的最高加热温度为700℃(短期使用,恒温不超过1小时),长期使用温度500℃
● 控温精度+/- 10℃
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真空泵● 我公司有多种真空泵可选,请点击图片,或是致电我公司销售
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薄膜测厚仪● 一个精密的石英振动薄膜测厚仪安装在仪器上,可实时监测薄膜的厚度,分辨率为0.10 Å
● LED显示屏显示,同时也输入所制作薄膜的相关数据
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质保和质量认证● 一年质保期,终生维护
● CE认证
外形尺寸image.png
使用注意事项● 这款1英寸的射频溅射镀膜仪主要是用于在单晶基片上制备氧化物膜,所以并不需要太高的真空度
● 为了较好地排出真空腔体中的氧气,建议用5%H2+95 %N2对真空腔体清洗2-3次,可有效减少真空腔体中的氧含量
● 请用纯度大于5N的Ar来进行等离子溅射,甚至5N的Ar中也含有10- 100 ppm的氧和水,所以建议将钢瓶中的惰性气体通过净化系统过后,再导入到真空腔体内
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VTC-1RF 1 英寸小型磁控射频溅射镀膜仪

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