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PCE-44 小型紫外臭氧清洗机

PCE-44 小型紫外臭氧清洗机

简要描述:PCE-44是一款小型紫外臭氧清洗机,可用于清洗各种单晶基片,以保证更好的成膜质量。同时也可去除光刻胶、改善材料表面润湿性、清洗SEM和TEM样品及紫外活化聚合物等。紫外臭氧清洗提供了一种无酸、干燥对材料无损伤的原子级别的清洗手段,特别适合清除一些有机化合物。紫外灯主要发出两种波长的光:185nm和254nm.其中185nm的光可把空气中的氧气变为臭氧,254nm可以破坏化合物中的键

产品型号:

所属分类:臭氧清洗机

更新时间:2019-10-24

厂商性质:生产厂家

详情介绍

PCE-44是一款小型紫外臭氧清洗机,可用于清洗各种单晶基片,以保证更好的成膜质量。同时也可去除光刻胶、改善材料表面润湿性、清洗SEM和TEM样品及紫外活化聚合物等。紫外臭氧清洗提供了一种无酸、干燥对材料无损伤的原子级别的清洗手段,特别适合清除一些有机化合物。紫外灯主要发出两种波长的光:185nm和254nm.其中185nm的光可把空气中的氧气变为臭氧,254nm可以破坏化合物中的键(特别是碳碳键)。所以这两种波长的光组合可有效地清除有机化合物。(更新时间:2018.8.17--XI)

技术参数
电源

 

● 220V 50/60HZ

 

紫外灯

 

● UV灯管

● 功率:55W

● 发出光的波长:波长254nm+185nm

● 使用寿命:6000h小时

● 照射区域:100 x 100 mm

● 光照强度:4.6 mw/cm2

1

 

腔体

 

● 抽拉盒尺寸: 140mm*132mm*20mm

● 标配高纯石英片用于盛放样品,避免污染

1

 

应用

 

● 去除分子级别的污染物

● 紫外光固化粘合剂

● 紫外光催化

● 氧化PDMS

● 表面消毒

● 刻蚀

● 清洗MEMS 器件

● 清洗各种基片,如Si, Ge, GaAs和各种氧化物单晶基片

 

环境要求

 

● 仅室内使用; 海拔高度在5,562英尺以内

● 温度范围41-104华氏度

● 大相对湿度80%,大87华氏度,104华氏度线性降至50%相对湿度

● 主电源波动不超过标称电压的10%

● 污染等级2; 臭氧水平(环境)测量<45 ppb

 

外形尺寸

 

● 240mm*200mm*165mm

1

 

净重

 

4公斤

 

认证

 

CE认证

 

质保期

 

● 一年保修,终身技术支持。

特别提示:1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。

          2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。

● 点击查看售后服务承诺书。

 

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