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| 功能特点 |
|---|
- 采用气体作为清洗介质，避免了因液体清洗介质对被清洗物带来的二次污染。。
- 可短时间内*清洗掉有机污染物。
- 清洗程度可达到分子级。
- 可在特定条件下根据需要改变某些材料表面的性能。
- 清洗过程中的辉光放电可对某些特殊用途的材料加强粘附性、相容性和浸润性，并可消毒和杀菌。
- 样品台可选配加热功能，可加负偏压，用以实现离子蚀刻。
- 广泛应用于光学、光电子学、电子学、材料科学、生命科学、高分子科学、生物医学、微观流体学等领域。
| 技术参数 | |
|---|---|
| 电压 | AC220V 10A |
| 消耗功率 | <500W（包括真空泵） |
| RF电源 | 输出功率100W，输出频率13.56MHz |
| 腔体 | Φ190mm×98mm |
| 细节图 |  |
| 石英管 | Φ180mm×55mm，壁厚7mm |
| 内腔 | Φ165mm×55mm |
| 清洗电极 | Φ120mm |
| 样品台 | Φ150mm，有效尺寸Φ140mm |
| 样品台与电极间距 | 15mm-50mm可调 |
| 抽气管 | Φ12mm |
| 极限真空度 | 0.1Pa |
| 工作真空度 | 60Pa-500Pa |
| 气路数量 | 2路（选装） |
| 流量控制器数量 | 1、2 |
| 流量显示仪 | 2通道 |
| 气路接口 | Φ6mm |
| 加热样品台 | Φ140mm，加热样品温度RT-600℃±1℃（选装） |
| 冷却水压力 | 0.2KPa-0.4KPa |
| 工作环境 | 温度5℃-35℃，湿度<80%（相对湿度）不结露，海拔高度0-2000m |
| 尺寸 | 245mm×235mm×460mm（不含真空泵） |
| 重量 | 20kg（不含真空泵） |
| 可选配置 | ● 加热样品台 ● 流量控制器（量程10、50、100，多可增加2个通道） |
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