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- 石英圆形真空腔体，腔体处理温度低，避免长时间等离子处理造成的腔体温度过高，确保对样品表面没有造成热影响。
- *电源：采用*电源电路技术，产生高密度等离子体，确保出众的清洗效果，频率13.56MHZ,功率0-600W连续调节,自动阻抗匹配。
- *放电技术：特殊处理及特殊结构的放电装置，确保形成稳定均匀的等离子体。
- 密封性的真空腔体设计：军工级的高真空度真空腔体设计及制造工艺，并配置进口技术真空泵运行。
- 高精度气体流量监测系统，两种工艺气体配置(氩气、氧气），双路气流控制，， 比例可调，采用高精度浮子流量计、美国世维洛克气体管路及阀件。
- 自主研发的低压(真空)等离子清洗机软件系统，性能稳定可靠，操作简单，便于维护，高效便捷。
- 强大的全面安全防护系统：温度安全防护功能，过载防护功能，短路断路报警防护 功能，各种误操作保护功能。
- 优质产品部件：产品部件采用国内外优质品牌，确保设备性能优越。
- 数字计时单元：0~99.9小时选择范围时间显示，处理过程结束后自动终止
- 精密数控加工：进口精密CNC数控机床加工工艺，并经过进口三坐标测量仪进行质 量监控。
- 适用形状复杂样品：清洗各种复杂形状的产品，包括内孔内壁，*均匀清洗。
- 处理全程无污染 ，等离子清洗机本身是很环保的设备，无产生任何污染，处理过程也无产生任何污染。可以与原有生产流水线搭配，实现全自动在线生产，节约人力成本。
| 技术参数 | |||
|---|---|---|---|
| 型号 | 数量 | 品牌 | PCE-05参数 |
| 机身 | 一套 | 自产 | 600(W)×400(D)×310(H)mm |
| 腔体 | 一套 | 石英真空腔体 | 直径160*200mm |
| 真空泵 | 一组 | 飞越 | 4L/S |
| 角阀 | 一套 | 北仪 | 超高真空40KF |
| 流量控制器 | 二套 | 军工Sevenstar华创 | 0-300mL/m |
| 射频电源 | 一套 | （13.56MHz） | 300W |
| PLC | 一套 | 三菱 | 包括PLC，A/D模组两组 D/A模块两组温度模块 |
| 电气系统 | 一套 | 三菱 | 接触器，继电器，屏蔽器等 |
| 触摸屏 | 一套 | 威纶 | 4.3寸 |
| 陶瓷封装 | 一套 | 进口 | 高频陶瓷 |
| 电源 | 1 | 自产 | 220V/50Hz |
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