UNIPOL-1203化学机械磨抛机,适用于CMP平坦化和平滑化工艺技术, 整机研磨部分采用防腐材料,耐化学腐蚀,配置自动滴料器和精密磨抛控制仪,全自动触摸屏面板,从加工性能和速度上同时满足晶圆等面型加工的需求。
产品名称 | UNIPOL-1203化学机械磨抛机 | |||||
安装条件 | 本设备要求在海拔1000m以下,温度25℃±15℃,湿度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水:设备配有上水口及下水口,需自行连接自来水及下排水 2、电:AC220V 50Hz,必须有良好接地 3、气:无 4、工作台:尺寸800mm×600mm×700mm,承重200kg以上 5、通风装置:不需要 | |||||
主要特点 | 1、超平不锈钢抛光盘(平面度为每25mm×25mm小于0.0025mm)。 2、超精旋转轴(托盘端跳小于0.01mm)。 3、设有两个加工工位,可分别进行控制。 4、配有全自动控制触摸屏面板,可设置主轴转速、摆臂速度、磨抛时间。 5、配置自动滴料器,流量速率可视化调整,自动研磨和抛光。 6、配置GPC-100A精密磨抛控制仪,可调节压力,修整面型,使磨抛更加方便快捷。 7、研磨部分采用防腐材料,耐化学腐蚀。 | |||||
技术参数 | 主机部分 | GPC-100A精密磨抛控制仪 | 自动滴料器 | |||
1、电源:110V/220V 2、功率:400W 3、磨抛盘转速:10-240rpm 4、磨抛工位:2个 5、摆臂调节档位:1-15档 6、托盘端跳:0.008/250mm 7、磨抛盘:Ø300mm 8、修盘环:Ø127.5mm
| 1、载样盘直径:Ø103mm 2、载样盘轴向行程:12mm 3、数显表精度:0.001mm 4、载样盘可调加载压力:0.1kg-2.1kg 5、压力确认仪有效量程:1g-5000g 6、样品装卡方式:真空吸附 7、承载样件尺寸: 直径≤103mm、 厚度≤12mm 8、尺寸:外径146mm,高266mm
| SKZD-2滚筒滴料器 1、容积:1.5L 2、流量:0-35ml/min 3、尺寸:170×290×350mm; 重量:3kg SKZD-4自动滴料器 1、加液泵:4个 2、料液瓶:600ml/瓶 3、计时范围:1-999min 4、流量:0.1ml/min-10ml/min 5、尺寸:230×370×450mm; 重量:10kg | ||||
产品规格 | 1、整套尺寸:950mm×690mm×580mm; 2、重量:90kg | |||||
标准配件 | 1 | 不锈钢抛光盘 | 1个 | |||
2 | 载物盘 | 1个 | ||||
3 | 修盘环 | 1个 | ||||
4 | SKZD-2滴料器 | 1个 | ||||
5 | SKZD-4自动滴料器 | 1个 | ||||
6 | GPC-100A精密磨抛控制仪 | 1个 | ||||
7 | 抛光垫 (磨砂革、合成革、聚氨酯) | 各1片 | ||||
8 | 刚玉研磨微粉 | 0.5kg | ||||
9 | 石蜡棒 | 4根 | ||||
可选配件 | 1、YJXZ-12搅拌循环泵 2、精密测厚仪 3、陶瓷研磨盘 4、玻璃研磨盘 5、磁性树脂金刚石研磨片 |
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